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全氟树脂PT35在pellicle光罩掩膜板防尘膜方面应用
来源: | 作者:pc | 发布时间: 2026-09-11 | 0 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

PT35可以穿透深紫外光,用作pellicle的材料。防止半导体制造流程的曝光工序中出现成品率降低,需要在曝光波长ArF(193nm)、KrF(248nm)的照射环境下使用。